l 适用于GaAs EPI外延牆/p>
l 具备AOI、OCR等功胼/p>
l 兼容4 inch? inch晶圆
l 自研光学镜头: FOV ~15.6mm
l 缺陷检测空间分辨率?.3μm x 1.3μm
l Review复查分辨率： 0.19μm x 0.19μm
l 缺陷检出率 98%
l 缺陷误检 2%
l 缺陷重复 > 95%
l 镭刻码OCR识别 99.9%（选配（/p>
