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产品优势
氮化硅基板与氮化铝和氧化铝基板相比，具有两倍以上的抗弯强度
与氧化铝和ZTA基板相比具有三倍以上的热导玆/p>
具有高的绝缘性和与Si相匹配的热膨胀系数
优异的抗热震性能和高强度
参数指标
ASD陶瓷基板材料特?/span> |
||||||||||
材料牌号 |
ASD-996 |
ASD-ZTA |
ASD-170 |
ASD-200 |
ASD-230 |
ASD-HS |
ASD-Si3N4 |
|||
Al2O3含量 |
wt |
% |
99.6% |
Al2O3/ZrO2 |
AlN |
AlN |
AlN |
AlN |
Si3N4 |
|
外观 |
- |
- |
白色致密 |
白色致密 |
浅灰色致寅/p> |
米黄色致寅/p> |
米黄色致寅/p> |
深灰色致寅/p> |
深灰色致寅/p> |
|
表面粗糙?/p> |
Ra |
μm |
<0.6 |
<0.6 |
<0.6 |
<0.6 |
<0.6 |
<0.6 |
<0.6 |
|
表观密度 |
排水泔/p> |
g/cm3 |
?.85 |
?.95 |
?.3 |
?.3 |
?.3 |
?.3 |
?.2 |
|
光反射率 |
400nm/1mm |
% |
83 |
97 |
- |
- |
- |
- |
- |
|
机械性能 |
抗弯强度 |
三点抗弯 |
MPa |
>500 |
>650 |
>400 |
>350 |
>300 |
>550 |
>700 |
断裂韧?/p> |
压痕泔/p> |
MPa﹡m1/2 |
3 |
4.0 |
3.0 |
3.0 |
3.0 |
3.0 |
6.5-7 |
|
维氏硬度 |
裁荷4.9 N |
GPa |
16 |
15 |
11 |
11 |
11 |
11 |
15.0 |
|
杨氏模量 |
拉伸泔/p> |
GPa |
300 |
310 |
320 |
320 |
320 |
320 |
310.0 |
|
热性能 |
热照胀系数 |
25 ~ 800ℂ/p> |
×10-6/ k |
7.9 |
8.0 |
4.6-5.2 |
4.6-5.2 |
4.6-5.2 |
4.6-5.2 |
2.5-3.1 |
热导玆/p> |
25ℂ/p> |
W/(m・k) |
>29 |
>27 |
>170 |
>200 |
>230 |
>150 |
>80 |
|
抗热震?/p> |
800ℂ/p> |
?0欠/p> |
无裂纸/p> |
无裂纸/p> |
无裂纸/p> |
- |
- |
无裂纸/p> |
无裂纸/p> |
|
比热 |
25ℂ/p> |
J/（kg∙k（/p> |
780 |
720 |
720 |
720 |
720 |
720 |
680 |
|
电性能 |
介电常数 |
1 MHz, 25ℂ/p> |
- |
9.5-10.5 |
9.5-10.5 |
8-10 |
8-10 |
8-10 |
8-10 |
7.8 |
介电损耖/p> |
1 MHz. 25ℂ/p> |
×10-4 |
? |
? |
? |
? |
? |
? |
? |
|
体枳电阻 |
25ℂ/p> |
Ω cm |
?014 |
?014 |
?014 |
?014 |
?014 |
?014 |
?014 |
|
击穿电压 |
DC |
KV/mm |
?5 |
?5 |
?0 |
?0 |
?0 |
?0 |
?5 |
|
ASD陶瓷基板规格尺寸 |
|||||||
厚度规格（mm（/p> |
尺寸（mm（/p> |
||||||
50.8*50.8 |
76.2*76.2 |
101.6*101.6 |
114.3*114.3 |
120*120 |
140*190 |
150*150 |
|
0.1 |
3 |
—–/p> |
—–/p> |
—–/p> |
—–/p> |
—–/p> |
—–/p> |
0.15 |
3 |
—–/p> |
—–/p> |
—–/p> |
—–/p> |
—–/p> |
—–/p> |
0.2 |
3 |
3 |
3 |
—–/p> |
—–/p> |
—–/p> |
—–/p> |
0.245 |
3 |
3 |
3 |
3 |
3 |
—–/p> |
|
0.32 |
1/2/3/6/7 |
1/2/3/6/7 |
1/2/3/6/7 |
1/2/3/6/7 |
1/2/3/6/7 |
1/2/3/6/7 |
—–/p> |
0.337 |
3/4/5 |
3/4/5 |
3/4/5 |
3/4/5 |
3/4/5 |
—–/p> |
—–/p> |
0.35 |
3/4/5 |
3/4/5 |
3/4/5 |
3/4/5 |
3/4/5 |
—–/p> |
—–/p> |
0.381 |
3/4/5 |
3/4/5 |
3/4/5 |
3/4/5 |
3/4/5 |
—–/p> |
—–/p> |
0.5 |
3/4/5 |
3/4/5 |
3/4/5 |
3/4/5 |
3/4/5 |
1/2/3/6/7 |
—–/p> |
0.635 |
1/2/3 |
1/2/3 |
1/2/3 |
1/2/3 |
1/2/3 |
1/2/3 |
1/2/3 |
0.762 |
1/2/3 |
1/2/3 |
1/2/3 |
1/2/3 |
1/2/3 |
1/2/3/ |
1/2/3 |
1 |
1/2/3/4/5 |
1/2/3/4/5 |
1/2/3/4/5 |
1/2/3/4/5 |
1/2/3/4/5 |
1/2/3/4/5 |
1/2/3/4/5 |
1.5 |
1/2/3/4/5 |
1/2/3/4/5 |
1/2/3/4/5 |
1/2/3/4/5 |
1/2/3/4/5 |
1/2/3/4/5 |
1/2/3/4/5 |
2 |
1/2/3 |
1/2/3 |
1/2/3 |
1/2/3 |
1/2/3 |
1/2/3/ |
1/2/3 |
3 |
1/2/3 |
1/2/3 |
1/2/3 |
1/2/3 |
1/2/3 |
1/2/3/ |
1/2/3 |
4 |
1/2/3 |
1/2/3 |
1/2/3 |
1/2/3 |
1/2/3 |
1/2/3/ |
1/2/3 |
备注 |
1、ASD-996,2、ASD-ZTA,3、ASD-170,4、ASD-200,5、ASD-230,6、ASD-HS?、ASD-Si3O4 |
||||||
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