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阿自倍尔泰事达机电设备（上海）有限公号/b>
证：工商信息已核宝br /> 访问量：18370
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产品简今/div>
Technical Data:
技术参数：
Shape:Horizontal design.
外形９/span>水平设计
Chamber dimensions:? = 1? m Length = 3? m.
腔体尺寸９/span>? = 1? m Length = 3? m.
Vacuum better than:1x10-5mbar.
真空度：<1x10-5mbar.
Temperature range:from ?5oC to +120oC.
温度范围９/span>?5oC to +120oC
Heating/Cooling speed at the shrouds:1oC/min.
导热层加热冷却速率９/span>1oC/min.
Shroud temperature uniformity:2oC.
导热层温度均匀?/span>９/span>2oC
Working surface:optical table.
工作台面：光学桌孏/span>
特殊设计９/span>
Table supported on a seismic block isolated from chamber supports.
工作桌面区别于腔体，单独固定在一个防震区块上、/span>
4 shroud zones with independent temperature control.
四个区域拥有单独的温度控制模块、/span>
TCU and vacuum pumps are in separated machinery room.
温度控制模块和真空泵在不同的房间
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