SEMNova-1000高通量(场发�?扫描电子显微镛�/span>

SEMNova-1000高通量(场发�?扫描电子显微镜，专为跨尺度大规模样品SEM表征分析而设计，广泛应用于科研及工业等领域。其自动化超高速的纳米成像技术，为您提供超凡的成像体验、�/span>

产品介绍

伯锐锶独立研发并拥有自主知识产权的SEMNova-1000高通量（场发射）扫描电子显微镜，通过对成像技术、运动平台、电路控制及智能算法的系统化创新设计，实现了高通量成像，成像速度可达到传统电镜的数十倍以上。其全部采用直接电子探测器的技术方案，成功克服了传统SEM技术在速度、精度和样品损伤等方面的局限性，颠覆性地将扫描电镜从传统意义上的纳米“照相机”提升为纳米“摄像机”。同时操作简单，全自动一键换样，7*24小时无人值守运行，全面提升科研效率、�/span>

我们将成熟的工业化高通量电镜检测技术应用在生命科学、材料研究、半导体工业、地质资源等领域。尤其在神经生物�?D重构、材料大面积表征分析、半导体反向工程、纳米技术分析等应用领域有显著优势、�/span>

产品优势

� 综合成像速度�?0倍传统电镛�/span>

� 二次电子与背散射电子双通道同步成像

� 海量SEM图像快速生成数据分析报呉�/span>

� 从百毫米到纳米级的跨尺度材料表征

产品特点

1、极速成僎�/span>

�?nbsp;通过自主研发的硬件和软件设计，实现二次电子与背散射电子双通道同步成像：视频级高分辨成像；

�?nbsp;高清视频级摄像帧率，使其具有实时观测样品动态变化的能力：�/span>

2、高成像质量

�?nbsp;独特的浸没式电磁复合物镜系统，有效地减小低落点能量下物镜的象差，达到极高分辨能力：�/span>

�?nbsp;与物镜场复合的静电式扫描偏转系统，相比于传统电镜的磁偏转系统，极大地减小图像边沿畸变，可获得兼具高分辨率和大视野�?*图像：�/span>

�?nbsp;In-Lens SE与BSE半导体直接电子探测器，双通道同时高速成像，兼具高灵敏度和高信号电子收集效率，即使在nA级别的大束流条件仍可获得高图像衬度和信噪比；

�?nbsp;配备主动补偿系统（激光干涉振动补偿、电磁干扰主动补偿），消除环境因素干扰，保证成像高分辨率高质量；

3、跨尺度大规模成僎�/span>

�?nbsp;超高速扫描成像能力，结合全自动聚焦跟踪系统和A.I.图像处理算法，实现对超大区域样品进行高分辨率全自动不间断矩阵式扫描，并自动拼接获得大尺寸纳米级分辨率的全景地图式成像，使之具备了跨尺度信息融合能力，可实现从纳米级到毫米级的跨尺度材料表征；

4、智能分枏�/span>

�?nbsp;大数据智能分� ，海量SEM图像快速生成数据分析报告；

�?nbsp;智能图像处理，定制化图像测量、统计、分析；

5、操作简協�/span>

�?nbsp;全自动样品载入与导航，一键完成样品更换，操作便捷，节省工时。大场光学成像导航与SEM成像无缝衔接，对指定区域快速准确实现定位和观测：�/span>

�?nbsp;7*24小时全自动化无人值守运行能力：�/span>

电子光学镛�/span>	电子�?/span>	肖特基型热场发射电子溏�/span> 束流稳定�?lt;1%/�?/span>
	物镜系统	SORRIL� 电磁复合透镜 样品台减速模弎�/span>
	分辨玆�/span>	1.5 nm @ 1kv 1.3nm @ 3 kv 浸没式电磁透镜(*�?
	加速电厊�/span>	0.1-12 kV 连续可调(*�?
	放大倍数	500X~600,000X(SEM 图像)1X-600X(光学导航)
	束斑电流	50pA~30nA (*�?
	标准工作距离	1.5mm
	**视场	100um(标准工作距离)1mm(**工作距离
	电子束消隐器	静电式消隐器
探测器系绞�/span>	电子探测�?/span> （标准）	In-column SE 探测器In-lens BSE 探测�?/span>
	工作距离高度探测	Focus Tracking� 自动聚焦跟踪系统
	光学导航精度	15um
图像处理�?/span>	成像*小驻留时闳�/span>	10ns/像素
	*快成像通量	SE与BSE� 100M 像素/s
	采集方式	双通道同步采集 SE+BSE
	**图像分辨玆�/span>	24kx24k 像素
	图像平均	支持点平均、线平均、面平均
样品运动平台	行程	X=150mm，Y=150mm，Z=20mm **样品载重 5kg
	重复定位精度(*)	X=±3um，Y=±3um，Z=±50nm (*�?
	驱动方式	X/Y 压电陶瓷驱动Z 步进电机+压电陶瓷驱动
	标准样品托盘	4~6 英寸样品载盘预抽室自动送样 可选装� SEM 标准样品托的载盘
图像增强 功能软件	基础控制软件	Nanoscope:自主研发用户友好的操作软件，用于电镜图像采集和测量具备一键图像聚焦和优化调整，可实时监控图像质量、�/span>
	自动采集拼接软件	ArrayScan:基于 Nanoscope 实现大面积全自动图像陈列采集，进行图片地图集自动预拼接等相关工作
	分析处理软件	ImageViewer:自主研发基于 Windows 操作系统，单张超高清图像(24kX24k)快速浏览与测量，大体量超高清图�?1000X1000�?地图集式自动拼接/浏览，信噪比优化
	用户开发接叢�/span>	支持 C#� Qt版本:开放供用户调取使用接口功能、�/span>

�?

⑟�选配非浸没式电磁透镜，可观测铁磁性材斘�*2):选配0~30kV电子�?

②�选配100nA;

③�可选配激光干涉仪、�/span>