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四探针电阻率测试?/strong>/四探针电阻率?方阻测试?方阻?四探针电阻率测定仪(自动测试?带软件) 型号:KDK-KDY-1
四探针电阻率/方阻测试仪(以下简称电阻率测试仪)是用来测量半导体材料(主要是硅单晶、锗单晶、硅片)电阻率,以及扩散层、外延层、ITO导电箔膜、导电橡胶方块电阻的测量仪器。它主要由电气测量部份(简称:主机)、测试架及四探针头组成、/p>
本仪器的特点是主机配置双数字表,在测量电阻率的同时,另一块数字表(以万分之几的精度)适时监测全程的电流变化,免除了测量电?测量电阻率的转换,更及时掌控测量电流。主机还提供精度?.05%的恒流源,使测量电流高度稳定。本机配有恒流源开关,在测量某些箔层材料时,可免除探针尖与被测材料之间接触火花的发生,地保护箔膜。“小游移四探针头”,探针游移率在0.1?.2%。保证了仪器测量电阻率的重复性和准确度。本机如加配HQ-710E数据处理器,测量硅片时可自动进行厚度、直径、探针间距的修正,并计算、打印出硅片电阻率、径向电阻率的百分变化、平均百分变化、径向电阻率不均习庋。给测量带来很大方便、/p>
2、主机能?/p>
?)测量范围:
可测电阻率:0.0001?9000?cm
可测方块电阻?.001?900?■/p>
?)恒流源9/p>
输出电流:DC 0.001?00mA 五档连续可调
量程?.001?.01mA
0.01?.10mA
0.10?.0mA
1.0?0mA
10?00mA
恒流精度:各档均低于0.05%
?)直流数字电压表9/p>
测量范围??99.99mV
灵敏度:10V
基本误差?#177;?.004%读数+0.01%满度(/p>
输出电源:≥1000M
?)供电电源:
AC 220V10% 50/60 Hz 功率?2W
?)使用环境:
温度?32 相对湿度:≤65%
无较强的电场干扰,无强光直接照射
?)重量、体积:
主机重量?.5kg
体积?65380160(单位:mm 长度宽度高度(/p>
备注9/p>
等级测量时(测电阻率),精度<3%
电气测量时(测电阻),精度在0.3%以内
备注9/p>
仪器包括:主机一台;测试架(包括台面)一个;四探针头1个;软件