四探针电阻率测试?/strong>/四探针电阻率?方阻测试?方阻?四探针电阻率测定仪（自动测试?带软件） 型号：KDK-KDY-1
四探针电阻率/方阻测试仪（以下简称电阻率测试仪）是用来测量半导体材料（主要是硅单晶、锗单晶、硅片）电阻率，以及扩散层、外延层、ITO导电箔膜、导电橡胶方块电阻的测量仪器。它主要由电气测量部份（简称：主机）、测试架及四探针头组成、/p>
本仪器的特点是主机配置双数字表，在测量电阻率的同时，另一块数字表（以万分之几的精度）适时监测全程的电流变化，免除了测量电?测量电阻率的转换，更及时掌控测量电流。主机还提供精度?.05%的恒流源，使测量电流高度稳定。本机配有恒流源开关，在测量某些箔层材料时，可免除探针尖与被测材料之间接触火花的发生，地保护箔膜。“小游移四探针头”，探针游移率在0.1?.2%。保证了仪器测量电阻率的重复性和准确度。本机如加配HQ-710E数据处理器，测量硅片时可自动进行厚度、直径、探针间距的修正，并计算、打印出硅片电阻率、径向电阻率的百分变化、平均百分变化、径向电阻率不均习庋。给测量带来很大方便、/p>
2、主机能?/p>
?）测量范围：
可测电阻率：0.0001?9000?cm
可测方块电阻?.001?900?■/p>
?）恒流源９/p>
输出电流：DC 0.001?00mA 五档连续可调
量程?.001?.01mA
0.01?.10mA
0.10?.0mA
1.0?0mA
10?00mA
恒流精度：各档均低于0.05%
?）直流数字电压表９/p>
测量范围??99.99mV
灵敏度：10V
基本误差?#177;?.004%读数+0.01%满度（/p>
输出电源：≥1000M
?）供电电源：
AC 220V10% 50/60 Hz 功率?2W
?）使用环境：
温度?32 相对湿度：≤65%
无较强的电场干扰，无强光直接照射
?）重量、体积：
主机重量?.5kg
体积?65380160（单位：mm 长度宽度高度（/p>
备注９/p>
等级测量时（测电阻率），精度<3%
电气测量时（测电阻），精度在0.3%以内
备注９/p>
仪器包括：主机一台；测试架（包括台面）一个；四探针头1个；软件
