高温超纳米压痕测试仪 (UNHT3 HTV)

全球**台真正意义的商品化的高温高真空超纳米压痕�?/strong>，主要测量小载荷下纳米尺度机械性能的测试系统，温度� 800 °C 以下的薄膜和涂层的硬度和弹性模量�?* UNHT³技术与独特的加热功能结合，可提供在任何温度下的高稳定性测量解决方案、�/strong>

主要特点新一代的高温纳米压痕测试�?/span>

• 环境条件�?低热漂移 (< 0.5 nm/min) 和整个温度范围内*低热漂移 (< 3 nm/min)、�/strong>

• **载荷框架刚度 (>>106 N/m) �?低框架柔� (<<0.1 nm/mN)：两套独立的位移和载荷传感器与高精度电容传感器结合，可选择“控制位移”和“载荷控制”模式、�/span>

• 高真空系统具� 5 轴磁悬浮涡轮泵和缓冲系统，允许在测量期间关闭初级泵，使振动降�?低、�/span>

• 独特的加热控制系统（3 �?*待批），采用3 个红� (IR) 加热器分别用于给压痕针尖、参比针尖和样品进行加热，以� 4 个热电偶用于将样品表面温度控制到 变化�?.1°C 内、�/span>

• 符合 ISO 14577 � ASTM E2546 国际标准

技术指栆�/strong>

载荷
**载荷	100 mN
载荷分辨玆�/span>	6 nN
本底噪音	0.5 [rms] [μN]*
位移
**位移	100 μm
位移分辨玆�/span>	0.006 nm
本底噪音	0.15 [rms] [nm]*
极限真空�?/span>	10?mBar
**温度	800 °C