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CVD 真空化学气相沉积设备

CVD 真空化学气相沉积设备

型号
CVD 真空化学气相沉积设备
产地
沈阳
品牌
威泰科技
产品分类
半导体行业专用仪�?/span>
关注�?/p>949
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发送询件�/a> 拨打电话进入展台

产品详情

CVD 真空化学气相沉积设备详情

CVD设备适用于热丝法化学气相沉积金刚石，采用钨丝/钽丝作为加热器，加热分解碳物质，激活化学气相反应，制备金刚石膜、�/p>

安装形式	立式
加热器分布方弎�/span>	圆周分布
加热器材�?/span>	钨丝/钽丝
保温材料	–�/span>
MAX温度	3000ℂ�/span>
控温精度	±1ℂ�/span>
均温�?/span>	±5ℂ�/span>
极限真空�?/span>	5×10-4Pa
均温区尺寷�/span>	按客户要求定刵�/span>
控制方式	自动/手动

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