一、设备简今/span>
该款设备是由单端封口红外滑轨炉?nbsp;高真空机组、供气系统及操作控制界面组成，内控热电偶用于控制RTP炉内的温度，出气口通过连接手动挡板阀、波纹管用于对石英舱体内的真空获取，进气口除用于通入保护气体或反应气体外，还可以用于移出炉膛后通入气体带走热量的快速降温，以此获得较高的降温速率、br/>
二、技术参?/span>
加热系统 |
|
额定电压 |
AC 220V 50/60Hz |
额定功率 |
20KW |
使用温度 |
1200ℂ/span> |
额定温度 |
1000ℂ/span> |
稳定状态温度范図/span> |
100~1000ℂ/span> |
加热区长?/span> |
230mm |
恒温区长?/span> |
120mm |
温度控制重复?/span> |
±3ℂ/span> |
温度控制精确?/span> |
±0.1ℂ/span> |
升温速率 |
?0?s |
控温方式 |
内控?/span> |
温度过冲 |
≣/span>3ℂ/span> |
炉管尺寸 |
高纯石英箠/span>Φ90*400*R45mm |
控温方式 |
智能化PLC控制，具有超温和断偶报警功能 |
真空机组主要参数 |
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空气相对湿度 |
?5% |
工作电压 |
220V±10% 50~60Hz |
抽气速率 |
165L/min |
实验真空?/span> |
5.0x10-1Pa（空载、冷态） |
容油野/span> |
1.1L |
进气口口徃/span> |
KF25 |
排气口口徃/span> |
KF25 |
供气系统主要参数 |
|
连接头类垊/span> |
双卡套不锈钢接头 |
标准量程（N2（/span> |
200sccm?00sccm |
准确?/span> |
±1.5% |
线?/span> |
±0.5~1.5% |
重复精度 |
±0.2% |
响应时间 |
气特 1~4Sec，电特 10Sec |
工作压差范围 |
0.1~0.5MPa |
压力 |
?MPa |
接口 |
Φ6?/4“/span> |
显示 |
液晶屏显礹/span> |
工作环境温度 |
5~45高纯气体 |
内外双抛不锈钢管 |
Φ6 |
手机粉体罐/p>
发求
发供
