产品名称：红外气体传感器

产品型号：Gasboard-2060

红外气体传感器产品概�?/span>

红外气体传感器是由四方仪器自主研发的高性能气体传感器，产品基于非分光红外技�?NDIR),能够精确测量半导体等应用中产生的SiF4、WF6、CF4、SF6、NF3、CO2等气�?兼容机台内常见预留尺寸、法兰和通讯协议，可用于半导体沉积和清洗工艺的端点检测、腔室清理终端检�?能够减少清洁时间,节约成本,提高产量、�/p>

红外气体传感器产品特�?/span>

• 使用NDIR技术，多气体监测支�?SiF4、WF6、CF4、SF6、NF3、CO2等气�?

• 响应时间快，高灵敏度

• 无耗材

• 模拟/数字通信

• 模块化设计，便于集成

红外气体传感器技术参�?/span>

检测原琅�/span>	NDIR
检测气佒�/span>	SiF4、WF6、CF4、SF6、NF3、CO2
量程	1~264ppm(0~200mTorr)
重复�?/span>	±0.5%
线�?/span>	±1%F.S.
检测限	1ppm