一、设备名称:SLA3804-1112ZNO型气氛烧结炉
二、技术指标与基本配置9/span>
主要用于DBC陶瓷覆铜箔在N2?/span>O2混合气氛条件下的高温烧结等热处理工艺,具体说明如下:
2.1额定温度9/span>200?100℃;**温度?150ℂ/span>
2.2有效高度9/span>40mm
2.3网带宽度9/span>385mm
2.4网带材质9/span>Cr20Ni80
2.5**负载9/span>35Kg/m2(不含网带自重)
2.6炉膛结构9/span>采用大炉腓/span>Inconel601材质马弗炉管结构,马弗底面铺满支撑马弗刚性的支撑盒(马弗底部铺满弥散气盒(/span>
2.7传动系统:大包角摩擦传动
2.8调速范围:30?00mm/min,变频无级调逞/span>
2.9加热元件9/span>陶瓷纤维加热模块
2.10烧结气氛:氮氓/span>+氧气
2.11气路组成:详?/span>3.2技术说昍/span>
2.12氧含野/span>检测点:氮氓/span>气源?/span>升温匹/span>?/span>高温区、降温区、冷即/span>区?/span>氮氧混配气气源(5点)兰/span>?/span>点不锈钢检测管路并连接到氧分析仪,通过电磁阀来选择切换点,可实时检测炉内氧含量,方便调节与选择进气量大導/span>
2.13氧含量(配氧分析仪表在线分析,纯氮气氛下检测)9/span>
升温匹/span>?5ppm+气源氧含野/span>
高温匹/span>?0ppm+气源氧含野/span>
降温匹/span>?0ppm+气源氧含野/span>
冷却匹/span>?5ppm+气源氧含野/span>
2.14排气系统:进口过渡套设置1个排气管(详?.2技术说明)
2.15冷却方式9/span>采用气冷和水冷相组合皃/span>方式冷却,冷却水奖/span>1点水温检浊/span>
2.16结构划分9/span>(详?/span>3.1技术说明)
2.17控温稳定度:±1ℂ/span>
2.18炉膛温度均匀度:±2℃(恒温匹/span>+/span>网带宽度横截面方吐/span>(/span>
2.19升温速率9/span>≣/span>2ℂ/span>/min
2.20温区个数9/span>11?/span>
2.21控温点数9/span>33点(每温区左?/span>右独立控制)
2.22前段热偶类型9/span>K分度(第1至第4温区(/span>
2.23后段热偶类型9/span>S分度(第5至第11温区(/span>
2.1报警指示:超温?/span>欠温?/span>变频器报警、断偶、低气压、低水压、网带过长等声光报警
2.24停电保护:加装手动摇出装?/span>
2.25停带保护:进出口端板各设1个急停按键
2.26表面温升:<35ℂ/span>
2.27加热功率:约88kw
2.28空炉保温功率9/span>≣/span>24kW
2.29重量:约4200Kg