设备名称：钙钛矿太阳能电池蒸发设备（不与手套箱连接）
设备型号：ZHD500
镀膜方式：金属+有机蒸发
真空腔室结构：立式方形前开门结枃�/span>
真空腔室尺寸：L500mmxW500mmxH450mm
基片台尺寸：220mmx220mm
膜厚不均匀性：≤�?.0%�?10mmx210mm范围内）
基片台加热：室温�?00℃（选配（�/span>
基片台水冷：10℃～30ℂ�/span>
蒸发�?溅射靶：金属+有机�?组（选配）；有机配温控式加热电源，金属电源（国产或进口）
晶振膜厚监控仪：国产或进口多探头（可选）
控制方式：PLC + 触摸屏控刵�/span>
占地面积：L1840mmxW800mmxH1920mm
总功率：�?2kW

1.国内技�?*、市场占有率**，设计优化，性能稳定，使用维护成本低、�/span>

2.广泛用于钙钛矿太阳能电池及复合功能薄膜材料制备等应用、�/span>