认证信息
称：
宁波丞达精机股份有限公司
证：工商信息已核宝br /> 访问量：8698
产品简今/div>
设备介绍
单轴单工位的结构设计
可适用大部分的晶圆加工要求，兼顾整面磨削和留边磨削
产品详情
主要参数
规格 |
单位 |
技术指栆/span> |
工件直径 |
mm |
Ø150 / Ø300 |
磨削方式 |
整面磨削 / 留边磨削 |
|
金刚石砂轮（兼容DISCO砂轮（/p> |
mm |
Ø300 |
砂轮轴数野/p> |
1 |
|
砂轮轴功玆/p> |
kW |
7.5 |
砂轮轴转逞/p> |
r/min |
1000~4000 |
Z轴行稊/p> |
mm |
120 |
Z轴磨削进给速度 |
mm/s |
0.0001~0.08 |
Z?小进给量 |
µm |
0.1 |
硅片厚度测量范围 |
µm |
0~1800 |
厚度测量分辨玆/p> |
µm |
0.1 |
夹持方式 |
多孔真空吸盘 |
|
工件轴数野/p> |
1 |
|
工件轴转逞/p> |
r/min |
10~300 |
磨削后TTV |
µm |
1.5 |
磨削后片间厚度偏?/p> |
µm |
±3 |
精磨后表面粗糙度 |
Ra |
10nm |
外形尺寸（W × D × H（/p> |
mm |
850×1760×1900 |
整机净里/p> |
kg |
2200 |
- 推荐产品
- 供应产品
- 产品分类