膜厚测量�?/span>

通过薄膜表面与基底材料反射光的干涉现象，可快速可靠地测量半透明及透明膜的厚度。非接触式测量，不会破坏测试样品�

NanoCalc测试系统主要包括：宽带光源、高性能线阵CCD光谱仪、传输光纤、样品测试台及测量分析软件。NanoCalc膜厚测量仪适合于在线膜厚测量，包括氧化层、氮化硅薄膜，感光胶片及其它类型的薄膜，NanoCalc也可测量在钢、铝、铜、陶瓷等物质上的抗反射涂层、抗膜涂层、�/span>

NanoCalc膜厚仪基本性能９�/span>

◎�/span>基本型号：NanoCalc-UV/VIS/NIR & NanoCalc-UV/VIS & NanoCalc-VIS/NIR

◎�/span>光谱范围�?50~1100nm(UV/VIS/NIR) & 900-1700nm(512-NIR)

◎�/span>膜厚分辨率：0.1nm

◎�/span>测量时间�?00ms~1s

◎�/span>多达10层膜厚测野�/span>

◎�/span>快速响应：在线测量

◎�/span>基底材料：钢/�?�?陶瓷/塑料筈�/span>

◎�/span>新型号：NanoCalc-MIK中整合摄影机

◎�/span>材料库： 400种材料的n和k值且可添功�/span>

◎�/span>应用场合：氧化物/SiNx/感光保护�?半导体膜

NanoCalc膜厚仪应用软仵�/span>◅�/span>膜厚测量/n&k值测野�/span>◅�/span>用户自定义材料层结构◅�/span>自动调整积分时间◅�/span>层材料信息分层显礹�/span>