立陶宛Workshop of Photonics公司�?003年进入飞秒激光微加工领域，成为全�?*的飞秒激光微加工设备以及解决方案提供商、�/span>

WOP主要业务包括：飞秒激光微加工可行性分析，定制飞秒激光系统和光学组件，激光微加工车间，激光微加工自动化软件，定制激光系统和设备控制电路、�/span>

�光伏电池飞秒激光工作站 SOLLAS

SOLLAS是WOP专门为硅基太阳能电池行业开发的激光加工机床，配置有飞秒紫外激光器和纳秒红外激光器，具有多任务操作功能，用于工业和研究�?*产能3MW/a、�/span>

产品特点９�/span>

◎�/span>工业研究生产线产�?.5 MW/a

◎�/span>飞秒紫外和纳秒红外激光源

◎�/span>机器视觉系统探测旋转和调整激光扫描区埞�/span>

◎�/span>使用高性能扫描振镜精细激光束控制

◎�/span>5”和6”晶圆加�?/span>

◎�/span>生产模式下直观的触摸屏用户使用界面（SCA工程设计（�/span>

◎�/span>研究模式下全功能软件（SCA工程设计（�/span>

SOLLAS 执行4项工艺：

◎�/span>选择性刻蚀SiNx/SiO2

◎�/span>后触点激光烧刵�/span>

◎�/span>边缘绝缘处理

◎�/span>激光标刺�/span>

◎�/span>可行性测试后整合其他加工过程