技术参数：

测量模式� STM/ AFM (接触 + 轻敲+非接�?/ 横向�? 相位/ 力调�?力谱/粘附�? 磁力/静电�? 开尔文/ 扩展电阻/纳米压痕/纳米刻蚀: AFM (电压刻蚀 + 力刻蚀)

扫描方式：样品扫揎�/span>

测量头部：AFM和SPM（全内置自动切换），可选配液相模式和纳米压痕测量头

**样品尺寸：直�?0mm，厚�?0mm

XY样品定位装置：移动范�?��5um，软件控制电动定佌�/span>

XY样品定位装置*小步进：0.3um

扫描范围�?00��100��10um（三维全量程闭环控制扫描器）�?��3��2um（低电流模式扫描器）

XY方向非线性度：≤0.1%（闭环控制扫描器（�/span>

Z方向噪音水平（带�?0~1000Hz时的RMS值）：闭环控制扫描器（典型�?.03nm�?*0.04nm），低电流模式扫描器�?.02nm（�/span>

激光光路系统：电动调节，全自动准直

视频显微系统：软件控制电动变焦和连续变倍，软件控制变换视野，分辨率2um

样品温度控制：室温~150ℂ�/span>

主要特点９�/strong>

全自动化桌面型SPM

直观易用的软件界靡�/span>

全自动切换AFM和STM扫描夳�/span>

自动调整激光光路（悬臂—激光—四象限光电探测器）

软件控制的电动样品定位平�?/span>

视频显微镜系统软件控制电动聚焦和变倌�/span>

视频显微镜系统软件控制定位样品观察视重�/span>

电动开关样品室�?/span>

切换不同的测量模式，软件自动调节**参数

人体工程学设讠�/span>