司掌握了国内外企业、高等院校和研究院所的先进生产技术和研究成果，设计了国内******氮化硅陶瓷基板自动化生产线，产品经多家用户检测和军方权威机构检测，验证结果与国外产品相当，局部优于国外产品、�/span>

氮化硅（Si3N4）基板与BeO�?span style="box-sizing: border-box; font-family: "Times New Roman";">Al2O3咋�span style="box-sizing: border-box; font-family: "Times New Roman";">AlN基板相比较，具有综合性能******、使用寿�?**长（�?span style="box-sizing: border-box; font-family: "Times New Roman";">AlN皃�/span>15~20倍）、可靠�?*****的特点，详细如下９�/span>

l绝缘性好：电阻率=1.0×1015~1016，电阻率约是BeO咋�span style="box-sizing: border-box; font-family: 宋体;">AlN皃�span style="box-sizing: border-box; font-family: 宋体;">10倍，Al2O3皃�span style="box-sizing: border-box; font-family: 宋体;">10万倌�/span>

l导热性强：热导率=80-177（理论值达320），热导率是Al2O3皃�span style="box-sizing: border-box; font-family: 宋体;">3倍以上，不�span style="box-sizing: border-box; font-family: 宋体;">AlN相当，略逊于BeO

l反应灵敏：介电常�?span style="box-sizing: border-box; font-family: 宋体;">=9.4，与Al2O3咋�span style="box-sizing: border-box; font-family: 宋体;">AlN相当

l热稳定：热膨胀系数=3，远低于BeO，比AlN低，约为Al2O3皃�span style="box-sizing: border-box; font-family: 宋体;">1/3

l寿命长：耐热循环次数=2000~5000次，�?span style="box-sizing: border-box; font-family: 宋体;">AlN咋�span style="box-sizing: border-box; font-family: 宋体;">Al2O3皃�span style="box-sizing: border-box; font-family: 宋体;">15~20倍，大大降低设备折旧成本

l抗振动：高模量、机械强度大、�/span>

lBeO属于剧毒产品，仅用于要求特殊的航天和导弹战斗�?/span>

lAl2O3和是目前价格*********的基板，但是其导热性和使用寿命远远不能满足第三代半导体产业的要求、�/span>

lAlN的主要问题是价格高（不�span style="box-sizing: border-box; font-family: 宋体;">Si3N4相当）但可靠性只月�span style="box-sizing: border-box; font-family: 宋体;">Si3N4的十分之一、�/span>

lSi3N4基板具有向下兼容的特点，无需验证即可直接替代上述三种基板，不必再次验证、�/span>

l随着Si3N4相基板的产量的增加和价格的下降，将逐步代替原来田�span style="box-sizing: border-box; font-family: 宋体;">Al2O3咋�span style="box-sizing: border-box; font-family: 宋体;">AlN占据的市场份额，

(�?新颖性、先进性和独特�?/span>

l产品属于国家‛�span style="box-sizing: border-box; font-family: 楷体_GB2312;">核高培�/span>“�span style="box-sizing: border-box; font-family: 楷体_GB2312;">领域皃�/span>军民两用卡脖子产品，在细分行业处于领军地位，市场紧缺，替代进口、�/span>

l设计了国�?*****氮化硅陶瓷基板自动化生产纾�/span>，严格的预处理技术和先进的生产技术保证了氮化硅基板在微量元素含量�?span style="box-sizing: border-box; font-family: "Times New Roman";">N/O比值、表面粗糙度、晶粒尺寸和晶间相等方面的严格要求，晶格缺陷大大减少了，性能指标大大提升、�/span>

l形成亅�/span>既满足量大面广的民用产品的要求、还可提供高性能指标的基板和/或基片，形成高低搭配的�?********的系列产品生产技术体系、�/span>