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成都奋羽电子科技有限公司
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产品分类
半导体行业专用仪?/a>
远程微波等离子体系统RPS
阵列式微波源等离子模块ALAMPS
定制加工仵/a>
其他
光学仪器及设夆/a>
产品简今/div>
| 项目 | 参数 |
| 关键功能 | 过温、过功率、过流报警及保护 |
| 核心技?/span> | 固态微波GaN |
| 输出功率 | 300W?W步进可调 |
| 供电电压 | AC110V |
| 供电频率 | 50Hz |
| 输出功率稳定?/span> | 优于1% |
| 输出频率 | 2450MHz |
| 频率误差 | ±50ppm |
| 微波泄露 | ?mW/cm2 |
| **驻波毓/span> | 2:1 |
| 微波操作模式 | 连续 |
| 向前和反射功率显礹/span> | 在串行连接接口上 |
| 启动模式 | 标准ON/OFF |
| 工作温度 | 环境温度**40℃,**湿度60% |
| 交流效率 | ?0% |
| 输出接口 | N夳/span> |
| 冷却方式 | 风冷 |
| 远程控制 | RS485通讯协议 |
| ??髗/span> | 微波源:234*114*122mm,AC-DC电源?30*127*41mm |
| 项目 | 参数 |
| 关键功能 | 过温、过功率、过流报警及保护 |
| 核心技?/span> | 固态微波GaN |
| 输出功率 | 300W?W步进可调 |
| 供电电压 | AC110V |
| 供电频率 | 50Hz |
| 输出功率稳定?/span> | 优于1% |
| 输出频率 | 2450MHz |
| 频率误差 | ±50ppm |
| 微波泄露 | ?mW/cm2 |
| **驻波毓/span> | 2:1 |
| 微波操作模式 | 连续 |
| 向前和反射功率显礹/span> | 在串行连接接口上 |
| 启动模式 | 标准ON/OFF |
| 工作温度 | 环境温度**40℃,**湿度60% |
| 交流效率 | ?0% |
| 输出接口 | N夳/span> |
| 冷却方式 | 风冷 |
| 远程控制 | RS485通讯协议 |
| ??髗/span> | 微波源:234*114*122mm,AC-DC电源?30*127*41mm |
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