核心参数

仪器种类９�/span>

原子力显微镜

仪器类型９�/span>

工业垊�/span>

定位检测噪声：

整机成像噪声小于0.05 nm（Z向Rms（�/span>

样品尺寸９�/span>

205 mm×205 mm

样品台移动范围：

100 μm×100 μm×15 μm

软件９�/span>

实时控制软件和离线分析软仵�/span>