设备名称:滚轮式紫外纳米压印设备
型号:GD-N-03
设备性能9/p>
兼容4,6,8英寸晶圆
全自动晶圆传送,可进行小批量生产
*低线宽小?0nm
压印深宽比至10:1
可进行斜齿光栅压?/p>
兼容高刻蚀比压印胶压印