编号：NMJS07374
篇名� 氧等离子体对以石墨为碳源合成的CVD金刚石颗粒的影响
作者： 姚凯� 代兵 谭小� 杨磊 刘康 舒国� 韩杰� 朱嘉�
关键词： 金刚石颗� 石墨 微波辅助化学气相沉积 氧等离子�
机构：哈尔滨工业大学航天学院
摘要� 采用一种新型的金刚石颗粒制备方�?利用微波辅助化学气相沉积技�?向反应室内通入氢气,以固态石墨片同时作为碳源和衬底沉积金刚石颗粒。利用该方法合成的金刚石颗粒具有微米级尺�?可用作研磨剂、抛光剂、形核剂等。但是合成的金刚石颗粒中仍含有少量的非晶�?且合成颗粒的尺寸均匀性有待提高。为解决以上问题,本文中在反应不同阶段(初期、中期及末期)通入氧气,形成氧等离子佒�研究氧等离子体对合成的金刚石颗粒形貌、尺寸、质量、纯度的影响,以及随氧等离子体添加阶段不同而产生的不同变化情况。结果表�?经氧等离子体处理的金刚石颗粒形貌略有改变,表面光滑度更�?且金刚石颗粒尺寸的一致性有所提高;经过激光粒度测试发�?金刚石颗粒的尺寸主要集中�?5~29μm。添加氧等离子体有助于消除金刚石中的非晶�?提高金刚石纯�?且在反应初期添加氧等离子体可最大程度提高金刚石颗粒质量�