6英寸半导体级单晶炈�/h3>

拉晶过程全程自动匕�/p>

在惰性气体环境中，用石墨加热器将硅材料熔化，

用直拉法生长无位错单晶的设备、�/p>

性能优势

设备主体结构优化，提高了整机稳定性、�/p>

具有拉制12英寸COP FREE半导体单晶硅棒的功能、�/p>

采用新型隔离阀、�/p>

液面高度监控系统、�/p>

高精度传动机构、�/p>

双层水冷套、可升降双层水冷屏、�/p>