�?碳主加热器主要用于提供均匀的热量分布，控制温度梯度，促进多晶硅或单晶硅的生长、�/p>

密度，g/cm³

�?.50

室温导热系数（W/(m·K)（�/p>

�?0

室温电阻率，μΩ·m

20-30

热态电阻率，μΩ·m

14-20