功能特点

专为Instec真空热台的应用设讠�/span>

可用于先真空再充气氛的实验应�?/span>

整体式真空阀门箱，精简真空管道的布�?/span>

真空度可辽�span> 10^(-3) mBar＇�span>0.1 Pa（�/span>

附赠一个指针式真空计，便于阀门操作时了解真空�?/span>

产品参数

真空�?/span>

10^(-3) mBar＇�span>0.1 Pa（�/span>

真空接口

宝塔接口x5

KF16接口x1（连真空计）

应用

1.热台腔体抽真穹�/span>

2.热台腔体先抽真空再充气氛

附赠

指针式真空计

典型应用操作

使用真空阀门箱进行“先抽真空再充气氛”的应用、�/span>

Step1.为热台抽真空。保持阀�?span>V1�?span>V2的关闭，打开阀�?span>V3，开始对热台抽真空；

Step2.为热台通气氛。关闭阀�?span>V3，而后打开阀�?span>V2，开始为热台通入气氛：�/span>

Step3.排出废气。关闭阀�?span>V2，而后打开阀�?span>V1，为热台排出废气、�/span>