功能特点

可编程精密控温。可独立控制，也可从上位机软件控刵�/span>

超低的盘面温度梯�?/span>

独立的上盘面真空吸气槽，用于吸附固定多种尺寸晶圆

尺寸超薄，可集成进探针台

适用12 mm ~ 304 mm尺寸晶圆

软件可拓展性强，可提供LabView等语言皃�span>SDK

#升级顸�span>#性能可升级，详见配置列表

#选择顸�span>#台面为电接地/电悬穹�/span>

#可选项#台面开设用于起模顶杆的孔洞，可快速卸下样�?/span>

#可选项#下盘面的真空吸气槽，用于将卡盘固定在实验平台三�/span>

可做改动或定制，详询上海恒商

技术参�?/span>

這�/span>

�?/span>

叁�/span>

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温度分辨玆�/span>

0.001ℂ�/span>

温度稳定�?/span>

��0.05ℂ�span>(at 100ℂ�span>)可提升稳定�?/span>

温度均匀�?/span>

��0.1ℂ�span>/cm可升级均匀�?/span>

*小控温速度

��0.1ℂ�span>/小时

温度传感�?/span>

100��铂质RTD

温控方式

开关式PID可升级为LVDC弎�span>PID

*其他技术参数请参耂�/span>常用型号选型�?/span>

配置列表

栆�/span>

凅�/span>

温控晶圆夹盘（圆形）

逈�span>1

mK2000温度控制�软件免费，控制线有多种接口供逈�/span>

∙�/span>

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�BNC同轴接口升级丹�/span>Triaxial三同轴接叢�/span>

三同轴的漏电流和电噪声更小，可测皮安级微弱信叶�/span>

逈�/span>

酌�/span>

仵�/span>

液氮制冷系统包含液氮泵与液氮罐，使样品降至负�?/span>

外壳水冷配件用常温水或冰水循环防止外壳过�?/span>

固定支架把夹盘固定在使用平台上，防止滑动

温控联动显微镜相�温度-图像联动工作，附软件

线性可变直流电溏�span>(LVDC)装在温控器里，抑制电噪音

*注：产品有多种配置变化，详询上海恒商

常用型号选型�?/span>

型号(字母T表示三轴接口)

盘面尺寸

适用样品尺寸

温度范围

**制热速度

HCC206R/HCC206RT

150 mm

12 mm｝�span> 152 mm

-100�｝�span> 200ℂ�/span>

+60�?分钟(at 100ℂ�span>)

HCC306R/HCC306RT

-100�｝�span> 310ℂ�/span>

HCC208R/HCC208RT

200 mm

40 mm｝�span> 203 mm

-80�｝�span> 200ℂ�/span>

+50�?分钟(at 100ℂ�span>)

HCC308R/HCC308RT

-80ℂ�/span>　｝�span> 310ℂ�/span>

HCC20CR/HCC20CRT

300 mm

95 mm｝�span> 304 mm

-60�｝�span> 200ℂ�/span>

+30�?分钟(at 100ℂ�span>)

HCC30CR/HCC30CRT

-60�｝�span> 310ℂ�/span>

*注：液氮泵型号不同，制冷表现也会有差异，请悉知、�/span>

夹盘上下表面的独立真空吸气槽(可逈�span>);支持Swagelok接口(可逈�span>);支持顶杆孓�/span>(可逈�span>);制冷需液氮