鹏城微纳技术（沈阳）有限公司（简称：鹏城微纳），公司依托于哈尔滨工业大学（深圳），具备先进的半导体研发设备平台和检测设备平台，可以在高起点开展科研工作。公司总部位于深圳市，具备半导体装备的研发、生产、调试以及半导体材料与器件的中试、生产、销售的能力、�br />公司核心业务是半导体衬底材料的研发与制造，半导体外延片的研发与制造，半导体工艺装备的研发与制造。包括了半导体装备（工业母机）研发、生产制造和销售；主要是PVD、CVD和MBE系列设备；热丝CVD金刚石工艺研发、金刚石工艺装备的设计制造和销售；重点是研发微米晶、纳米晶金刚石晶圆片和工业母机的研发制造；以产学研的模式，围绕第二代、第三代、第四代半导体，开展半导体材料制备和工业母机的研发和中试，研发设计自主可控的成套工艺装备和关键零部件，研发设计自主可控的半导体衬底材料和外延片、�br />