概况

华锦新材公司生产的TaC涂层专用特种石墨基材，能与TaC涂层的热膨胀在不同温度下�?0-200℃：5.9*10-6/K�?0-600℃：6.3*10-6/K�?0-1600℃：7.1*10-6/K）高度匹配，**解决了多次升降温引起的涂层开裂和剥落等问题，有效提高工件的服役时间、�/p>

产品优势

相较SiC涂层石墨，新一代的TaC涂层石墨的高温耐腐蚀性、服役时间以及抑制杂原子迁移能力明显提升，使用温度由900-1500℃扩展到**2400℃，应用场景由半导体单晶的同�?异质外延扩展到半导体晶圆生长（籽晶托架、导流筒、石墨坩埚、导流环）等领域。涂层材料的变革对石墨基材的热膨胀系数、电学与化学稳定性、表面粗糙度、机械强度及热导率提出了更高要求、�/p>

在高均匀温度场中的处理温度超�?400℃，华锦新材碳化钽涂层石墨基材在电学与化学稳定性大幅度提高，材料均质性明显改善，**密度差≤0.01g/cm3，电阻率�?0μΩm、�/p>

公司产品原料为超细颗粒，热处理过程中，颗粒通过熔并一体化烧结，实现高度致密化，且平均密度值达�?.92g/cm3，平均孔径≤0.4μm，开孔率�?2%，相比传统石墨，表面粗糙度与加工性能明显提升。公司产品制备工艺精确控制，微观结构致密均匀、内部缺陷明显降低，承受的极限外应力大幅度提高，使批量化产品的抗折强度≥80MPa，优级品抗折强度�?5MPa、�/p>

公司产品采用超长时间热处理工艺，晶体结构完善，La，Lc值优化，平均石墨化度�?0%，热导率�?45W/m*K、�/p>

性能参数

牌号	体积密度（g/cm³)	热膨胀系数�?0-6/K（�/span>	电阻玆�span style="box-sizing: border-box; font-weight: lighter; font-size: 1rem; display: block; line-height: 1.4; color: rgb(136, 136, 136);">（μΩm（�/span>	平均孔径（μm（�/span>	总孔隙率�?（�/span>	抗弯强度（MPa（�/span>	热导玆�span style="box-sizing: border-box; font-weight: lighter; font-size: 1rem; display: block; line-height: 1.4; color: rgb(136, 136, 136);">（W/m*K（�/span>
HJ-Ta-1	1.93	6.3�?0�?00℃） 7.1�?600℃）	10-11	�?.4	�?2	80-85	�?20
HJ-Ta-2	1.95	6.3�?0�?00℃） 7.1�?600℃）	10	�?.3	�?1	85-90	�?45