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青岛华旗科技有限公司
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产品分类
产品简今/div>
产品性能９/p>
4~8寸晶圆工艺，每台1~4/5箠/p>
恒温区：800/1000/1250mm
温度?00?300?1350ℂ/p>
全自动机械手装卸，悬?软着际/p>
晶圆自动倒片，完整的工厂MES系统对接，符合SECS?HSMS/GEM等标凅/p>
配套工艺９/p>
扩散：气?液?固态源磷硼扩散
氧化：干?湿氧（DCE, HCL（/p>
氮、氢退火，烧结、合金等
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