特点：适用于压力范围为0.01�?0mbar/0.0075�?7.5Torr，需要抽速较大的应用场合
运行压力相对较低，可靠性极髗�br/> ZRS系列属于高品质、无油泵结构
有效的轴封确保油不会进入泵腔，而且由于没有内部和外部旁通管路和阀这些可能会被腐蚀的部件，因此将维护需求降�?位�br/> 对轴封的设计进行了优化，以确保润滑剂不会迁移到泵腔，使泵在清洁度
要求极高的环境下发挥增压泵的性能。此外，还可以防止在公差非常严格的转子凸角和端面上聚集微尘颗粑�br/> 动平衡的转子及精密研磨齿轮使泵的运行平稳、静音，以满足先进技术设备制造商的要汁�br/>
应用：真空包装、干燥及脱气、真空冶金、真空蒸馏、薄膜涂层、低密度风洞、空间模拟、真空浸渍、冷冻干�