快速热处理退火炉简�?nbsp;RTP＇�/span>Rapid Thermal Processing Furnace（�/span>，由我公司借鉴了国际先进制造工艺，在管式炉的基础上自主研发而成、�/span>这款不但拥有很快皃�/span>升温速率100�?S，而且降温速率也有了质的飞跃，降温速率100�?S。我们的工程师们巧妙的设计工艺使得冷却气体直接对着样品直吹，以至于达到如此快的降温速度、�/span>真正的极速升温和极速降�?/span>�?/span>

此款设备采用了成仪自主研发的智能AIO（All In One）控制系统，实现了炉膛自动左右移动，炉膛在左侧加热到设定温度后，直接移动到右侧样品区域，实现样品快速升温，样品加热到设定温度和时间后，炉膛自动移开样品加热区，实现样品的快速降温、�/span>成仪AIO智能控制系统不但实现了真空系统开启、保护气氛通断以及冷却气体通断的自动协调控制，而且还能自动平衡炉管内的压力大小，真正实现了操作方便，而且安全可靠、�/span>

功能举例９�/span>样品加热�?000℃后，炉膛自动移开加热区，冷却气体自动打开直吹样品表面实现极速降温，样品温度降到70℃时自动关闭冷却气体。然后炉膛移动到加热区继续加热，如此往复，往复次数可用户自定义。真空系统可根据用户设定温度自动开启和关闭、�/span>

应用领域

Ø�?/span>速热退�?nbsp;(RTA); 离子注入后退�?/span>

Ø石墨烯等气象沉积，碳纳米管等外延生长

Ø快速热氧化 (,RTO); 热氮�?nbsp;(RTN);

Ø硅化 (Silicidation);

Ø扩散 (Diffusion);

Ø离子注入后退�?nbsp;(Implant Annealing);

Ø电极合金�?nbsp;(Contact Alloying);

Ø晶向化和坚化 (Crystallization and Densification);

主要特点

Ø极速升�?00�?S，极速降�?00�?S：�/span>

Ø双层炉管结构，气氛与样品接触更均匀：�/span>

Ø直接测量样品表面温度，测温更精准：�/span>

Ø炉膛根据设置可自动左右移动，可以满足更多的实验应�?/span>：�/span>

Ø样品实际温度数据可通过手机APP导出excel表格：�br/>

技术参数：

产品名称	RTP多功能快速退火炉
产品型号	RTP1100-M
额定温度	1100ℂ�/span>
温场均匀�?/span>	±10ℂ�/span>
炉膛升温速率	�?00�?S
*快降温速率	�?00�?S
控温方式	炉膛与样品要分别控温，两个测温点
炉膛移动方式	根据用户样品设定温度自动左右移动，往复次数可调节
操控系统	智能AIO操作系统、PID控制（可选）
操作界面	7英寸触摸屎�/span>
加热方式	短波红外线加�?/span>
加热腔体结构	双层石英箠�/span>
外管直径	100mm
内管直径	80mm
气体保护方式	外管进气，内管出氓�/span>
压力保护	管内自动恒压�?.8�?.2个大气压任意可调（�span style="font-family: "font-size:16px;";">＇�/span>可选）
样品冷却	加热后炉膛自动移开，冷气打开直吹样品，降到设定温度自动关闭冷却气体、�span style="font-family: "font-size:16px;";">＇�/span>可选）
冷却气体调节	浮子流量�?100�?000ml/min)＇�/span>可选）
超温保护	温度出现过高时切断主回路
式样有效空间	90*100mm
真空系统	8L/S双级联真空系绞�span style="font-family: "font-size:16px;";">＇�/span>可选）
整机真空�?/span>	0.5Pa
真空启动方式	根据程序设置自动启停＇�/span>可选）
抽气端口尺寸	KF16
供气口尺寷�/span>	1/4英寸双卡奖�/span>
法兰冷却方式	水冷（短时间无需水冷（�/span>
真空显示	数字真空压力�?/span>
上位机操�?/span>	基于安卓系统APP＇�/span>可选）
数据导出方式	APP导出Excel表格＇�/span>可选）
额定功率	12kw
外形尺寸	950*500*560mm
重量	50kg
配件	管堵2支，法兰水冷�?支，耐温手套1双，坩埚�?把，说明�?本、�/span>