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| ZL650型多晶硅铸锭炉技术指栆/span> | |
| 硅锭尺寸 | 840mm×840mm×390mm | 
| 生产玆/span> | 600kg}/span>650kg/炈/span> | 
| 生产周期 | }/span>70hr,产能}/span>7.5MW/平/span> | 
| **温度 | 1600ℂ/span> | 
| 常用工作温度 | 1560ℂ/span> | 
| 硅锭生长速率 | 1.2-1.4cm/hr | 
| 炉内极限真空?/span> | 1Pa | 
| 系统漏率 | <0.0075Pa.m3/s | 
| 氩气 | }/span>100m3/?/span> | 
| 冷却氳/span> | ?/span>140L/min | 
| 额定加热功率 | 165kW | 
| 每炉加热器功耖/span> | }/span>4000度(投料650kg(/span> | 
| 其他能耖/span> | }/span>500?/span> | 
| 单位能耖/span> | }/span>7?/span>/kg | 
| 铸锭良率 | 平均大于70%(正常配料) | 
| 转换效率 | 17.4%-17.6% | 
| 准单晶生产能劚/span> | 具备 | 
| 高效多晶生产能力 | 具备 | 
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