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ZL650型多晶硅铸锭炉技术指栆/span> |
|
硅锭尺寸 |
840mm×840mm×390mm |
生产玆/span> |
600kg}/span>650kg/炈/span> |
生产周期 |
}/span>70hr,产能}/span>7.5MW/平/span> |
**温度 |
1600ℂ/span> |
常用工作温度 |
1560ℂ/span> |
硅锭生长速率 |
1.2-1.4cm/hr |
炉内极限真空?/span> |
1Pa |
系统漏率 |
<0.0075Pa.m3/s |
氩气 |
}/span>100m3/?/span> |
冷却氳/span> |
?/span>140L/min |
额定加热功率 |
165kW |
每炉加热器功耖/span> |
}/span>4000度(投料650kg(/span> |
其他能耖/span> |
}/span>500?/span> |
单位能耖/span> |
}/span>7?/span>/kg |
铸锭良率 |
平均大于70%(正常配料) |
转换效率 |
17.4%-17.6% |
准单晶生产能劚/span> |
具备 |
高效多晶生产能力 |
具备 |
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