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| 高低温真空探针台 | ||||
| 型号 | SCG-O-2 | SCG-O-4 | SCG--C-2 | |
| 外形 | 900*900*530mm | 1100*1100*530mm | 1100*1100*1030mm | |
| 重量 | ?/span>170KG | ?/span>190KG | ?/span>290KG | |
| 电力需汁/span> | AC220V,50~60HZ | |||
| 样品?/span> | 尺寸 | 2英寸 | 4英寸 | 2英寸 |
| 样品固定方式 | 真空导热硅脂/弹簧压片 | |||
| 样品台移?/span> | 固定的样品台 | |||
| 真空?/span> | 10^-10torr**真空 | |||
| 光学特?/span> | 显微镜行稊/span> | 2*2英寸 | 4*4英寸 | 2*2英寸 |
| 放大倍数 | 变焦９/span>7:1分辨玆/span>4μm(放大倍数216X)或者选用金像显微镜（20X~1000X（/span> | |||
| 真空腔观察窗尺寸 | 2inch | 4inch | 2inch | |
| CCD像素 | 50W（模拟）/200W（数字）/500W（数字） | |||
| 温控规格 | 制冷方式 | 液氮/液氦 | 制冷压缩朹/span> | |
| 控制方式 | 开循环手动/自动冷媒流量控制 | 闭循环自动控刵/span> | ||
| 控温范围 | 77K~450K/4.2K~450K | 4.2K~450K | ||
| 控温分辨玆/span> | 0.001K | |||
| 温度稳定?/span> | 4.2K±0.2K77K±0.1K | |||
| 373K±0.08K473K±0.1K | ||||
| 823K±0.2K(可选）973K±1.0K(可选） | ||||
| 常温?/span>8K冷却时间 | 90min | 150min | ||
| 8K到常温升温时闳/span> | 90min | 90min | ||
| 常温开始的升温时间 | 100ℂ/span>150ℂ/span>200ℂ/span> | |||
| 30min50min80min | ||||
| 加热电源 | LVDC低压直流 | |||
| 传感?/span> | 硅二极管 | |||
| 传感器数野/span> | 样品台，防辐射屏，探针臂各一?/span> | |||
| 功率 | 50W/100W/500W/1000W | |||
| 点针规格 | 探针数量 | 2?/span>/4?/span>/6?/span> | ||
| 探针调节 | 真空波纹管外部调节，手动控制 | |||
| 点针精度 | 10微米/2微米/0.7微米 | |||
| X-Y-Z行程 | 25mm-25mm-25mm | |||
| 漏电精度 | 10pA/100fA | |||
| 接口形式 | 三轴/SMA/K/光纤接口 | |||
| 可选附仵/span> | 防震桋/span> | |||
| 多级压缩制冷朹/span> | ||||
| 机械泴/span>/分子泵组/离子泴/span> | ||||
| 射频部件 | ||||
| Chuck运动装置 | ||||
| 电磁铁系绞/span>/超导磁铁系统 | ||||
| 1Mpa正压系统升级 | ||||
| 超高温升级选件 | ||||
| 超高真空升级选件 | ||||
| 客户特殊定制 | ||||
| 应用方向 | 高低温真空环境下的芯片测试，材料测试，霍尔测试，电磁输运特性等 | |||
| 特点 | ||||
| 可进行真空环境下的高低温测试＇/span>4.2K~450K（/span> | 可升级加载磁圹/span> | |||
| 防辐射屏设计，样品温度均匀性更奼/span> | 支持光纤光谱特性测诔/span> | |||
| 兼容高倍率金相显微镜，可微调移?/span> | 器件的高频特?/span>(支持**67GHz频率) | |||
| 探针热沉设计 | LD/LED/PD的光弹/span>/波长测试 | |||
| 自动流量控制 | 材料/器件皃/span>IV/CV特性测诔/span> | |||
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移动?/p>
工商已核宝/p>
