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型号
YRTP-1100品牌
上海煜志产地
上海样本
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产品介绍
YRTP快速退火炉是一款多功能的真空气氛烧结炉,既可以用于材料的快速升降温退火,也可用于化学气相沉积(CVD)法,在镍或铜箔上制备石墨烯的制备,稍加调整,一机多用,被广泛的应用各研究院所、/span>
加热系统采用环形红外短波加热器,*快升温速率可达300?S,测温采用精准的S型贵金属热电偶直接测量式样表面,使加热工件(式样)的温区更加均匀准确,控制界面采用大尺寸触摸屏,傻瓜智能式操作,可预设置十条温度曲线。控制数学模型采用先进的PID自学习模糊双闭环控制模式,使控温精度在快速升温的恒温状态仍能保持在±3℃,经过长期多次的各种试样试验验证,已被应用于半导体器件研发及生产等领域,广泛满足离子注入后的快速退火,欧姆接触快速合金,硅化物合金退火,氧化物生长,铜铟镓硒光伏应用中的硒沉积及其它快速热处理工艺的要求、/span>
技术参?/span>
| 产品型号 | YRTP-1100 | 
| 炉体结构 | 双层壳体结构,高精度移动平台 | 
| 额定温度(℃(/span> | 1100 | 
| 使用温度(℃(/span> | ?000 | 
| 温场均匀性(℃) | ±3ℂ/span> | 
| 温度状态工艺时间(S) | 2~100?00~1000℃) | 
| *快升温速(?S(/span> | 200 | 
| 降温速率(℃/S(/span> | 1~200(通氮气,速率更快(/span> | 
| 温度控制模式 | 智能模糊全闭环PID控制 | 
| 操作方式 | 触摸屏控刵/span> | 
| 超高温状态检浊/span> | 软件检测出温度信息出现高温异常时,切断主回?/span> | 
| 触摸屏尺寷/span> | 7"LED | 
| **功率(kW(/span> | 15 | 
| 额定电压 | AC380~400V?0HZ?0Hz定制(/span> | 
| 传感器类垊/span> | S型单铂铑 | 
| 反应腔室内径尺寸 | Φ100X200 | 
| 式样有效空间 | 4" | 
| 真空系统 | 选配 | 
| 预留真空抽口 | KF16 | 
| 进出气接叢/span> | Φ6卡套 | 
| 尺寸重量 | ?000×?00×?00mm;净重:?0kg | 
可根据客户要求定制!
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