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CF蝶阀APC控制系统阀

KF蝶阀APC控制系统阀
ISO 蝶阀APC控制系统阀
1. 阀
2. 处理宣br/> 3. 进气叢br/> 4. 压力传感?br/> 5. 传感器线
6. 控制器和执行?br/> 7. 连接遥控控制?br/> 8. 连接电源纾br/> 9. 真空泴/p>
集成整合压力控制?/p>
精确的压力控刵/p>
严谨隔离
反应时间?/p>
友善使用接口

真空压力控制和隔离阀?/p>
>> SEMI - 半导
>> FPD - 光电面板
>> PVD - 物理气相沉积
>> Solar - 太阳胼/p>

压力和位置控制模弎/p>
附表测试模式=> 1 cycle schedule
设置阀打开/关闭速度
记录APC HW/SW 版本, 序列号和型号
记录阀门循环和运行时间
设置公差范围的压劚/p>
循环寿命和压力控制记彔/p>
控制器参数上传和下载
断电保护功能
屏幕截图
压力学习功能

暂无数据
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