气动高真空蝶阀

ISO-B TYPE 气动蝶阀

ISO-KF TYPE 气动蝶阀

ISO-K TYPE 氣動蝶閥

气动蝶阀系统设置

A : Pump
B : Htc pneumatic butterfly valve
C : Process chamber
D : Gauge
E : Gas inlet

产品应用

Htc气动高真空蝶阀是采用旋转气缸驱动的真空蝶阀，密封板搭配O-ring的设计，可完全隔绝真空侧与大气侧，具有快速开闭、安装快速、尺寸小，寿命长等优点、�br/>
Htc气动蝶阀的密封设计，可应用在需完全隔絶具污染及腐蚀气体制程中。蝶阀阀门安装于真空帮浦(pump)与制程腔室（process chamber）间、�br/>

设计特征
� 旋转气缸驱动，快速开启关�?br/>� O-ring完成气密设计
� 密封板位置指示器
� 任意安装方向
� 高气寻�br/>� 150万周期寿呼�br/>
产品分类
� KF25 / KF40 / KF50
� ISO63 / ISO100 / ISO160 / ISO200 / ISO250

Body / P late / Shaft 材质
不锈� (Stainless steel)

保固条件