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全自动四探针测试?/div>
全自动四探针测试?img src="//www.znpla.com/index/img/pub/pic/newpro.png">

参考价栻/p>面议

型号

FT-3110A

品牌

ROOKO

产地

浙江宁波

样本

暂无
宁波瑞柯微智能科技有限公司

金牌会员

|

?0平/p>|

生产啅/p>

工商已核宝/p>

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核心参数
  • 探测器:

    3%
  • 加速电压:

    3%
  • 电子枪:

    3%
  • 电子光学放大9/p>3%

  • 光学放大9/p>3%

  • 通道数:

    3%
  • 误差率:

    3%
  • 波长准确度:

    3%
  • 灵敏度:

    3%
  • 分辨率:

    1%
  • 重现性:

    3%
  • 仪器原理9/p>电阻式计?/span>

  • 分散方式9/p>自动

  • 测量时间9/p>60s

  • 测量范围9/p>10^-5?×10^5Ω

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FT-3110系列全自动四探针测试?/span>

一.功能描述9/span>

四点探针法,全自动化运行测量系统+/span>PC软件采集和数据处理;参照A.S.T.M 标准方法测试半导体材料电阻率和方块电阻;可设定探针压力值、测试点数、多种测野/span>模式选择;真空环境,可显示:方阻、电阻率?/span>显示2D,3D扫描/数值图?/span>温湿度值?/span>提供标准校准电阻仵/span>.报表输出数据统计分析.

事/span>.适用范围

晶圆?/span>非晶硄/span>/微晶硅和导电膜电阻率测量;选择性发射极扩散片;表面钝化片;交叉指样PN结扩散片;新型电极设计,如电镀铜电阻测量等:/span>半导体材料分析,铁电材料,纳米材料,太阳能电池,LCD,OLED,触摸屏筈/span>.

丈/span>.技术参数:

规格型号

FT-3110A

FT-3110B

1.电阻

10^-5?×10^5Ω

10^-6?×10^5Ω

2.方块电阻

10^-5?×10^5Ω/■/span>

10^-6?×10^5Ω/■/span>

3.电阻玆/span>

10^-6?×10^6Ω-cm

10-7?×106Ω-cm

4.测试电流

0.1μA.μA.0μA?00µA?mA+/span>

10mA?00mA

1A?/span>100mA?/span>10mA?/span>1mA?/span>100uA?/span>10uA?/span>1uA?/span>0.1uA

5.电流精度

±0.1%

6.电阻精度

?.3%

7.PC软件操作

PC软件界面:电阻、电阻率、电导率、方阻、温度、单位换算、电流、电压、探针形状、探针间距、厚 ?/span>2D?D图谱?/span>压力?/span>

报表生成筈/span>

8.压力范围9/span>

探针压力可调范围:软件控?100-500g可调

9.採/span>钇/span>

针间绝缘电阻:≥1000MΩ;机械游移率:≤0.3%

圆头铛/span>镀釐/span>材质+/span>探针间距1mm?mm?mm选配+/span>其他规格可定刵/span>

10.可测晶片

尺寸选购

晶圆尺寸?-12寷/span>'/span>6寷/span>150mm+/span>12寷/span>300mm);

方形片:大至156mm X 156mm ?25mm X 125mm

11.分析模式

单点、五点、九点、多点、直径扫描、面扫描等模式的自动测试

12.加压方式

测量重复性:重复性≤3%

13.安全防护

具有限位量程和压力保抣误操作和急停防护;异常警报

14.测试环境

真空

15.电源

输入: AC 220V±10%.50Hz 耗:<100W

16.选购项目

电脑和打印机

361B.png

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售后服务

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性价毓/p>

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