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二维材料生长CVD系统
二维材料生长CVD系统

参考价栻/p>面议

型号

BTF-1200C-400C-SL

品牌

贝意兊/span>

产地

安徽

样本

暂无
安徽贝意克设备技术有限公号/a>

金牌会员

|

?3平/p>|

生产啅/p>

工商已核宝/p>

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核心参数
  • 非金属电热元件:

    其他
  • 金属电热元件9/p>铁铬铝丝

  • 烧结气氛9/p>真空

  • 温控精度9/p>±1ℂ/span>

  • 最高温度:

    1200ℂ/span>
  • 额定温度9/p>1100ℂ/span>

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主要特点Main features

前端配有预热炉,可用于蒸发固态源

Equipped with a preheating furnace for evaporating solid state sources

加热炉选用滑轨炉,可实现快速升?降温,缩短实验时闳/p>

Uses a slide furnace to achieve rapid heating/cooling and shorten the experiment time.

法兰端采用卡箍密封,这样就使进料出料更加的方便、/p>

The flange end is sealed by a clamp, which makes the feeding and discharging more convenient.

进气系统可以按照客户的实验需求配置几路质量流量计,流量计的量程也可以选择不同的配置,真空系统也可以根据客户的需求选择配置各种真空泵、/p>

Gas supply system can be configured with several mass flow meters according to the customer's experimental requirements. The flow meter's range can also be selected in different configurations. The vacuum system can also be configured with various vacuum pumps according to customer requirements.

技术参数Technical Parameters

Preheating Furnace预热炈/strong>

Max. Temp

400ℂ/span>

温区长度zone length

100mm

Heating furnace滑轨炈/strong>

Max. Temp

1200ℂ/span>

Power 功率

2KW (220V)

温区长度zone length

Heating?40mm

Constant?00mm

Temperature Controller

控温方式

lPID automatic control and auto-tune function.

模糊PID控制和自整定调节

l30 programmable segments for precise thermal processing.

智能?0段可编程控制

lBuilt-in protection for the over-heated and broken thermocouple.

超温和断偶报警功胼/p>

Heating Elements

加热元件

·Resistance wire, Fe-Cr-Al Alloy doped by Mo

电阻丝(掺钼铁铬铝合金)

Temperature Accuracy

控温精度

+/- 1ℂ/p>

Processing tube

炉管

Size:?0*1650mm

尺寸:?0*1650mm

Gas supply system气路系统

连接头类型Connector style

双卡套不锈钢接头Double cutting ferrule stainless steel connector

标准量程(N2)Standard range(N2)

50sccm?00sccm?00sccm?00sccm?nbsp;(可根据用户要求定制)optional

准确度Accuracy

·±1.5%FS

响应时间Response time

Gas characteristics??sec

气特?/p>

Electrical characteristics:10sec

电特?/p>

线性Linearity

±0.5?.5%

Working pressure difference range

工作压差范围

0.1?.5MPa

Max. pressure**压力

3MPa

压力真空表Pressure vacuum gauge

?.1?.15 MPa, 0.01 MPa/栻/p>

Vacuum unit真空系统

空气相对湿度Relative air humidity

?5%

抽速pumping

10m³/h

真空度vacuum

10-1Pa

容油量Oil capacity

1.1L

转速Rotation rate

1450rpm

噪音Noise

50dB


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10刅/span>

售后服务

10刅/span>

易用?/p>

10刅/span>

性价毓/p>

10刅/span>
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