非金属电热元件：
其他金属电热元件９/p>铁铬铝丝
烧结气氛９/p>真空
温控精度９/p>±1ℂ/span>
最高温度：
1200ℂ/span>额定温度９/p>1100ℂ/span>
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一?span style="font-size: 16px; font-family: 微软雅黑, " microsoft="" box-sizing:="" animation-fill-mode:="" padding:="" margin:="" line-height:="">主要特点
我司研制的回转PECVD系统能使整个实验腔体都处于辉光产生区，辉光均匀等效，这种技术很好的解决了传统等离子工作不稳定状态，这样离子化的范围和强度是传统PECVD的百倍，并解决了物料不均匀堆积现象
该款设备选用特殊形状(两头细中间粗)的石英管作为化学气相沉积的反应室;加热的同时炉管可360度旋转，管内壁有石英挡片帮助粉体材料翻炒有助于烧结得更均匀;而且炉体可左右大角度倾斜，方便进出料，倾斜角度?~35°可调、br/>
此款设备现广泛应用于低温石墨烯制备实验、粉体材料碳包覆实验、/span>
二、技术参?/strong>
加热炈/strong> |
|
使用温度 |
?200ℂ/span> |
加热区长?/span> |
440mm |
恒温区长?/span> |
200mm |
加热元件 |
电阻丝（掺钼铁铬铝合金） |
控温精度 |
±1ℂ/span> |
控温方式 |
7"液晶触屏与工控仪表双重控温，模糊PID控制和自整定调节，智能化30段可编程控制，具有超温和断偶报警功能 |
炉管尺寸 |
Φ60*420mm+Φ100*360mm+Φ60*420mm |
炉管转逞/span> |
3~13r/min |
倾斜角度 |
0~35° |
PE溏/strong> |
|
信号频率 |
13.56MHz±0.005% |
功率输出范围 |
0-500W |
射频输出接口 |
50Ω，N-type，female |
功率稳定?/span> |
?W |
气路系统 |
|
供气系统 |
高精度质量流量计（量程可选） |
准确?/span> |
±1.5% |
响应精度 |
±0.2% |
响应时间 |
气特性：1~4sec，电特性：10sec |
工作压差范围 |
0.1~0.5MPa |
压力 |
?MPa |
连接头类垊/span> |
Φ6mm双卡套不锈钢接头 |
真空系统 |
|
真空系统 |
采用KF25系列波纹管和手动挡板阀 |
真空度可?0-1Pa |
|
数显真空测试仪可直观的显示数倻/span> |
|
暂无数据
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