非金属电热元件：
其他金属电热元件９/p>其他
烧结气氛９/p>其他
温控精度９/p>≤?.5ℂ/span>
最高温度：
1100℃（石英砂）1250℃（碳化硅）额定温度９/p>.
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设备型号：M51200-1/UM
主要用于半导体器件制程中的掺杂、氧化、推阱、退火、合金、薄膜沉积等工艺、/p>
技术参数：
主要用于半导体器件制程中的掺杂、氧化、推阱、退火、合金、薄膜沉积等工艺、/p>
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