非金属电热元件：
硅钼棑/span>金属电热元件９/p>其他
烧结气氛９/p>氮气
温控精度９/p>-
最高温度：
1800ℂ/span>额定温度９/p>1700ℂ/span>
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立式退火炉
1?*设计温度?800ℂ/p>
2、常用温度：1700ℂbr/>3、供电电源：AC380V±10?3?? 50Hz
4、加热元件：硅钼棑br/>5、适用烧结气氛：氮气、一氧化碳、氩氓/p>
该设备主要用于半导体硅晶片的退火、具有控温精度高、温度场均衡、升降温速率快、可靠性高等特点，是制作半导体硅晶片材料的必备工艺设备
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