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碳化硅烧结炉是用来反应烧结碳化硅皃span style="color: rgb(32, 134, 238);">真空烧结炈/strong>，Z高温?800度，极限真空?x10-1pa，保温层为石墨板和碳毡复合结构，加热室为密闭形式，阻止硅蒸汽溢出，加热材料为石墨，有充气排胶系统、/span>
工作区有?46,4413,,5514,6620?812?732?840等多种规栻/span>
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