参考价栻/p>面议
型号
FIG-5离子?/span>品牌
高德英特产地
北京样本
暂无控制方式9/p>其他
靶材材质9/p>*
靶材尺寸9/p>*
样品仓尺寸:
*样品台尺寸:
*溅射气体9/p>*
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FIG-5离子?/strong>
简今/strong>
ULVAC-PHI Model FIG-5型离子枪是一种高效能的溅射离子枪,它可以在高真空的条件下,有效地使用5kV加速电压?小的离子束斑大小约为150um。此外,FIG-5型离子枪也可以工作在极低的能量范围如10eV用作中和目的,也可在200eV低能量范围用作溅射超薄薄膜。它可采?-10V外置电源控制离子束的扫描。FIG-5型离子枪标准配置还包括差分抽气口。该离子枪的全部操作采用RS-232 接口由计算机控制

? - ULVAC-PHI FIG-5型离子枪
性能规格
| 工作电压 | ?nbsp; | 0-5kV |
| **束流 | 9/span> | ?0uA @ 5kV Beam Voltage |
| 低压性能 | 9/span> | ?2nA @ 10eV Beam Voltage |
| *小束斐/span> | 9/span> | ?00um |
| 离子源类垊/span> | 9/span> | 电子轰击 |
| 发兰接口 | 9/span> | ICF70 |
| 工作距离 | 9/span> | 30-70mm |
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