Thermo Scientific� ESCALAB� QXi X 射线光电子能谱仪（XPS（�/span>是ESCALAB 系列产品。作为可扩展的多技术表面分析平台，ESCALAB QXi有着**的灵活性和完备的专业配置选项。汇聚前沿技术，打造出高效便捷的软件系统，高性能的硬件配置，高效的生产力。强大的Thermo Scientific^TMAvantage^TM软件系统集系统控制、设备状态实时监控与调节、数据采集、数据处理、报告生成等多功能于一身，操作便捷，快速高效、�/span>

**的分析性能

●表面元素定性、定量分枏�/span>

能量分析器设计和双晶微聚焦单色化X射线源结合，实现�?*的能量分辨率

●快速高分辨平行成像

化学成像: 空间分辨率优�?um

回溯成谱: 回溯区域优于6um

●无需背底修正探测�?/span>

电子倍增器和电阻阳极探测器的双探测器设计，可实现高性能的XPS采谱和高空间分辨的XPS成像的需求、�/span>

空间连续的电阻阳极探测器创新技术，使得XPI成像分辨率达1um，同时所得数据无探测器背底特征，无需背底校正，直接得到微米尺度分辨的定量元素分布成像结果、�/span>

●微聚焦单色溏�/span>

分析尺寸�?0μm�?00μm之间连续可调

**的灵敏度和能量分辨率

提供不少�?0个靶材工作点，确保仪器终身使用过程中阳极靶无需更换

●自动化高效离子剖析溏�/span>

新型Ar离子团簇与传统单粒子离子源相结合，用于各类材料的深度剖析研究

●高精确度角分辨XPS

软件控制分析位置和角度，确保数据的精确性和重复�?/span>

全套的ARXPS数据处理工具，可对纳米尺度的多层结构器件进行层厚计算

●一键式荷电补偿

配有双束电荷中和系统，可以根据实际样品的需要独立控制开启、�/span>

适用于所有不导电样品及粗糙表面的荷电中和

●强大的Avantage分析软件

全数字化仪器控制

系统软件可视化操佛�/span>

全套XPS标准数据图库以及化合物结构鉴定数据库

自定义数据采集到报告生成模式

操作简侾�/strong>

●高度自动化

分析区域和角度分辨可逈�/span>

自动化气体调节和真空控制

●随时校凅�/span>

能量标尺和仪器功函数的校凅�/span>

离子枪定位和离子束聚�?/span>

●鼠标点击式样品导航

实时显示分析位置

高照明强度、强度可谂�/span>

设计灵活

●ISS、ARXPS与REELS为标准配�?/span>

●多功能进样室为标准配置

●UPS和EDS/AES/SEM/SAM/可逈�/span>

●可选的样品预处理附件，包括９�/span>

样品制备台、晶体清洁器、样品刮片器

样品加热/冷却装置

溅射清洁离子�?/span>

蒸发�?/span>

高压反应宣�/span>