白度9/p>-
目数9/p>-
品级9/p>-
主成分含量(%):
-制作方法9/p>-
密度(kg/m³):
-纯度9/p>-
莫氏硬度9/p>-
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应用于半导体集成电路高温和沉积设备中 在晶圆高温工艺和沉积工艺过程中,Si injector是将化学气体输入 备内部的关键部件,是晶圆高温和沉积环节所必需的核心部件、/p>
技术优劾/p>
1、采用一体钻孔工?SiFusion工艺
2、可实现孔径3 -14mm、任意长度的定制加工
3、原材料纯度髗/p>
4、表面金属离子残留达到硅片处理工艺所要求
5、相同热膨胀系数
暂无数据