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SimulTek 原子氧源
采用激光轰击氧分子,形成中性氧原子束流,性能如下9/p>
原子氧能量:4~7eV
原子氧束流通量大于5.01015 atoms/cm2/s
原子氧纯度大?5%
束流均匀性优?0%
暂无数据
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