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产品介绍9/strong>
反应舱:
材料:铝
有效尺寸?00 x 700 x 1000mm
容积?90卆/p>
舱门:装有可视窗叢/p>
托盘?个。尺寸:591 x 697 x 40mm
真空度测量:
皮拉尼真空计(利用电阻丝随温度的变化而电阻随之变化的原理来测量的,而电阻丝温度的变化又与其周围气体的热导率有关(/p>
真空泵:
旋片式真空泵?80m3 每小时的机械增压泵、/span>
频射发生器:
0~2500w可调?00KHZ发生?/span>
控制系统9/strong>
触摸屏操作,PLC控制系统
PLC可实现下列功能:
1、自动控制反应过程;
? 2、根据处理材料设定不同的处理工艺流程:/p>
? 3、测定真空泵压力、抽真空时间、充气速度、工作压力、处理时间、温度、频射发生器输入电压等指标;
? 4、监测所有的运行指标,保证在设定范围之内:/p>
? 5 设定操作、维护密码、/span>
电源9/strong>
380V AC、三相?0Hz?0A.
反应气体9/strong>
一个气体输入端口,含气体流量控制器(MFC);根据用户需要,可扩屔/span>
气体输入9/strong>
直径1/4''?.645厘米 管道;输入压力:1Bar.
尾气排放9/strong>
直径38mm 输出端口、/span>
安全性能9/strong>
急停开关;真空泵保护锁;高温保护锁;CE安全认证、/span>
可选件9/strong>
频射发生器:2.45GHZ 13.56MHZ
多个气体输入管道、/p>
根据客户工艺要求制作的软件程庎/p>
根据客户要求制作的托盘、/p>
辊轮式载料系统
N2 Purge.
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