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二氯硅烷氦离子色谱仪仪器配备高灵敏的氦离子化检测器,采用华爱公司的中心切割技术,进样阀均带有吹扫保护气路;整机采用多柱箱设计,并配备进样压力自动校正系统,不同底气的样品的进样量。产品先后荣获上海市成果转化A级项目、上海市重点新产品、上海市火炬计划?009科学仪器产品等称号、/span>
| 项目名称 | 指标 | ||
| 三氯氢硅(SiHCl3 )含量(体积分数)/l0-6 | 10 | ||
| (一氯硅?氯化?含量(SiH3Cl+HCl)含量”,以氯化氢计(体积分数?l0-6 ≣/td> | 50 | ||
| 氮(N2)含量(体积分数?l0-6 ≣/td> | 1 | ||
| (氧+氩)(O2+Ar)含量(体积分数?l0-6 ≣/td> | 1 | ||
| 一氧化碳(CO)含量(体积分数?l0-6 ≣/td> | 1 | ||
| 氢(H2)含量(体积分数?l0-6 ≣/td> | 10 | ||
| 二氧化碳(CO2)含量(体积分数?l0-6 ≣/td> | 1 | ||
| 总烃(THC)含量,以甲烷(CH4)计(体积分数)/l0-6 ≣/td> | 1 | ||
| 金属元素及其他元素含野/td> | (硼+铝)(B+Al)含??#956;g/kg ≣/td> | 0.1 | |
| (磷+砷)(P+As)含??#956;g/kg ≣/td> | 0.3 | ||
| 镓(Ga)含??#956;g/kg ≣/td> | 0.1 | ||
| 锑(Sb)含??#956;g/kg ≣/td> | 0.1 | ||
| 铟(In)含??#956;g/kg ≣/td> | 0.1 | ||
| 钙(Ca)含??#956;g/kg ≣/td> | 1 | ||
| 铬(Cr)含??#956;g/kg ≣/td> | 1 | ||
| 铁(Fe)含??#956;g/kg ≣/td> | 5 | ||
| 钾(K)含??#956;g/kg ≣/td> | 1 | ||
| 钠(Na)含??#956;g/kg ≣/td> | 0.2 | ||
| 镍(Ni)含??#956;g/kg ≣/td> | 1 | ||
| 钼(Mo)含??#956;g/kg ≣/td> | 0.1 | ||
| 锰(Mn 含量/?#956;g/kg ≣/td> | 0.2 | ||
| 铜(Cu)含??#956;g/kg ≣/td> | 0.2 | ||
| 镉(Cd 含量/?#956;g/kg ≣/td> | 0.5 | ||
| 钴(Co)含??#956;g/kg ≣/td> | 0.5 | ||
| 锌(Zn)含??#956;g/kg ≣/td> | 0.1 | ||
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