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技术参数及要求９/p>
基片尺寸?#934;5-100mm 圆片，ZUI?00100mm2 方片
转速：250-9000RPM
旋涂设置：任意阶段之间均可任意升降调芁/p>
转速稳定性：<1%
旋涂均匀性：<1%
旋涂工艺阶段? 殴/p>
旋涂时间：单步工?-1800s，可根据客户需求调芁/p>
整机尺寸（长宽高）：210mm280mm248mm
裸机尺寸（长宽高）：210mm280mm155mm
电机功率?0W
适应材料：硅片、玻璃、石英、金属、GaAs、GaN、InP 等各种材斘/p>
配套无油真空泵参数：
型号：KW-550A/KW-550T
抽速：1.5 ?科/p>
功率?20W
噪音?0db
ZUI低真空度?700mmHg
重量?.3Kg
尺寸(长宽??40mm160mm230mm
抽气速率９60L/min
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移动?/p>
工商已核宝/p>
