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技术参数及要求９/p>
基片尺寸5-100mm圆片?/ 100100mm 2 方片
转速：500-8000?刅/span>
转速稳定性： 1%
旋涂均匀性： 1
旋涂工艺阶段 2 殴/p>
旋涂时间９span>Ⅰ?~18S?/大（0~60S）；Ⅱ?~60S?/大（0~180S（/span>
整机尺寸 长宽 210 mm 2 6 0 mm 275 mm
裸机尺寸 长宽 210 mm 2 6 0 mm 1 55mm
电机功率 40W
适应材料：硅片、玻璃、石英、金属 GaAs GaN InP 等各种材斘/p>
配套 无油真空泵参数：
型号 K W 550A/KW 550T
抽速： 1 .5 科/p>
功率 3 20W
噪音 50db
ZUI低真空度 700mmHg
重量 7.3 Kg
尺寸 长宽 2 40mm40mm160mm230mm 抽气速率 ９60L/min
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