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KLY-900型离子溅射仪是依据二?DC)直流溅射原理设计而成的,*简单、可靠、经济的镀膜设备、/span>
适用于电镜实验室的扫描电子显微镜(SEM)样品制备,非导体材料实验电极制作、/span>
特点9/span>
1. 配置有样品溅射室真空表和溅射电流表,用以指示、监控仪器状态;
2. 溅射电流调整控制器、微型真空气阀。在工作时结合内部自动控制电路很容易控制真空室压强、电离电流及任意选择所需要的电离气体,获?*镀膜效果;
3. 特殊设计的钟罩边缘橡胶密封圈,可保证长期使用不会出现影响样品溅射室真空度的玻璃钟罩“崩边”现象;
4. 根据电场中气体电离特性,采用大容量样品溅射真空室和相应面积溅射靶,使溅射镀层更坆/span>匀纯净、/span>
型号  | KLY-900  | 
主机规格  | L360mm*W300mm*H380mm  | 
靶(上部电极(/span>  | 金:直径?0mm,厚度:0.1mm  | 
真空样品宣/span>  | 直径?60mm,高?20mm  | 
溅射面积  | 50mm  | 
真空指示?/span>  | **真空度: 4X10-2 mbar  | 
离子电流?/span>  | **电流?0mA(100mA)  | 
定时?/span>  | *长时间:3600S  | 
微型真空气阀  | 可连?#966;3mm软管  | 
可通入气体  | 多种  | 
**电压  | -1600 DCV  | 
机械泴/span>  | 2L/S  | 
暂无数据
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