1．技术特?/span>
?高倍率双目双视场显微镜 22 英寸宽屏液晶显示同时观察对准过程，并提供 USB 输出；既满足高精度对准，叇/span>
可用于检测曝光结果，且曝光结果和方便存储
?采用倒置式照明，更换汞灯更方便，散热和防漏光效果更好
?对准位和曝光位双工位工作，双工位自动切换
?采用嵌入式计算机+触摸屏操作，操作更方便，更时尙/span>
?上下片、版十分方便，自动化程度高，操作简便。对高校教学科研（可靠性好，演示方便）及工?效率?尤为适宜
2．技术参?/span>
?曝光面积?00mm100mm（可升级 6 英寸（/span>
?曝光波长?65nm
?分辨力：?m（胶 1.5m的正胶）
?对准精度９/span>0.6m
?显微镜扫描台运动范围：X?0mm;Y:10mm
?掩模尺寸?.5 英寸? 英寸? 英寸? 英寸
?样片尺寸：直15mm--100mm（各种不规则片），厚 0.1mm--6mm
?曝光方式：定时（倒计时方式）和定剂量
?具备真空接触曝光、硬接触曝光、压力接触曝光，以及接近式曝光四种功?0
?照明不均匀性： 3%＇/span>100mm 范围（/span>
?双目双视场对准显微镜：既可通过目镜目视对准，也可通过 CCD+显示器对准，光学合像，光?*倍数 400 倍，
光学+电子放大 800 倌/span>
物镜三对? 倍?0 倍?0 倌/span>
目镜三对?0 倍?6 倍?0 倌/span>
?曝光对准双工位自动切捡/span>
?调平接触压力通过传感器保证重夌/span>
?数字设定对准间隙和间隘/span>
?具备压印模块接口，也具备接近模块接口
?掩模相对于样片运动行程：
X:5mm; Y:5mm;:6o
?**焦厚?00m（SU8 胶，用户提供检测条件）
?光源平行性：3 o
?曝光能量密度９25mW/cm2，照明面温度<35 oC
?单层曝光一键完戏/span>
?采用球气?三爪找平
?汞灯功率?50W（直流，进口（/span>
3．外形尺寸：1400mm（长（/span>900mm(?1500mm（高（/span>
4．配?/span>
?）曝光头
?冷光椭球镛/span>
?350W 进口直流高压汞灯(德国欧司?
?XYZ 汞灯调节?/span>
?冷却风扇
?光学系统：固定光栏、可变光栏、快门、准直镜 1、准直镜 2、蝇眼透镜组（79 个透镜）、i 线滤光片、场镜?/span>
冷光反射 1、反射镜 2
?）对准工件台
?光刻机底?/span>
?工位切换台（气缸（/span>
?掩模样片整体运动?/span>
?掩模样片相对运动?/span>
?转动?/span>
?样片调平机构，三点自动完戏/span>
?样片调焦机构，电机自动调
?基片抽拉式上下机枃/span>
?承片 4 个：?15mm ?40mm?60mm?100mm（可按用户要求增减）
?掩模 4 个：2.5 英寸? 英寸? 英寸? 英寸（可按用户要求增减）
?样片抽拉式上下机枃/span>
?）对准显微镜
?光源 电源
?双目双视场对准显微镜主体
?目镜 3 对（10 倍?6 倍?0 倍， 6 个）
?物镜 3 对（4 倍?0 倍?0 倍， 6 个）
?CCD 对准系统?2 寸液晶显示器
?）电控系绞/span>
?汞灯触发电源(350W 直流汞灯)
?单片机控制系绞/span>
?控制面板
?控制柜桌
?）气动系绞/span>
?气缸、电磁阀、减压阀、气动开关等
?电磁阀驱动
?气动仪表
?）其他附仵/span>
?真空泵一?/span>
?空压机一?/span>
?配套接口管道
十一、URE-2000/25 型光刻机
1．技术参?/span>
?曝光面积? 英寸
?曝光波长?65nm
?分辨力：1m（胶 2m的正胶）
?对准精度９/span>0.8m
?掩模样片整体运动范围：X?5mm;Y:15mm
?掩模尺寸?.5 英寸? 英寸? 英寸? 英寸
?样片尺寸：直15mm--100mm(各种不规则片)，厚 0.1mm--6mm
?曝光方式：定时（倒计时方式）和定剂量
?照明不均匀性： 3%100mm 范围（/span>
?双目双视场对准显微镜：既可通过目镜目视对准，也可通过 CCD+显示器对准，光学合像，光?*倍数 400 倍，
光学+电子放大 800 倌/span>
物镜三对? 倍?0 倍?0 倌/span>
目镜三对? 倍?0 倍?0 倌/span>
?掩模相对于样片运动行程：
X:5mm; Y:5mm;:6o
?**焦厚?50m（SU8 胶，用户提供检测条件）
?光源平行性：3.5 o
?曝光能量密度９20mW/cm2，照明面温度<35 o
?汞灯功率?50W（直流，进口（/span>
2．外形尺寸：1200mm（长?900mm(? ?1750mm（高（/span>
3．配?/span>
?）曝光头
?冷光椭球镛/span>
?350W 进口直流高压汞灯(德国欧司?
?XYZ 汞灯调节?/span>
?冷却风扇
?光学系统：固定光栏、可变光栏、快门、准直镜 1、准直镜 2、蝇眼透镜组（79 个透镜）、i 线滤光片、场镛/span>
1、场 2、冷光反射镜 1、反射镜 2
?）对准工件台
?掩模样片整体运动?/span>
?掩模样片相对运动?/span>
?转动?/span>
?样片调平机构 手动
?样片调焦机构，手?/span>
?承片 3 个（?50mm ?75mm ?100mm（/span>
?掩模 4 个（2.5 英寸? 英寸? 英寸? 英寸（/span>
?基片抽拉式上下机枃/span>
?）对准显微镜
?光源（配备品 2 只） 电源
?双目双视场对准显微镜主体
?目镜 3 对（10 倍?6 倍?0 倍， 6 个）
?CCD 21 英寸液晶显示?/span>
?物镜 3 对（4 倍?0 倍?0 倍， 6 个）
?）电控系绞/span>
?汞灯触发电源(350W 直流汞灯)
?单片机控制系绞/span>
?控制箰/span>
?）气动系绞/span>
?气缸、电磁阀、减压阀、气动开关等
?电磁阀驱动
?气动仪表
?）其他附仵/strong>
?真空泵一?/span>
?空压机一?/span>
?管道
十二、URE-2000/17 型光刻机（台式）
1．技术参?/span>
?曝光面积? 英寸
?曝光波长?65nm
?分辨力：1.5m（胶 2m的正胶）
?对准精度９/span>1m
?掩模样片整体运动范围：X?5mm;Y:15mm
?掩模尺寸?.5 英寸? 英寸? 英寸? 英寸
?样片尺寸：直15mm--100mm，厚 0.1mm--6mm(可扩展为 15mm)
?曝光方式：定时（倒计时方式）和定剂量
?照明不均匀性： 5%＇/span>100mm 范围（/span>
?双目双视场对准显微镜：既可通过目镜目视对准，也可通过 CCD+显示器对准，光学合像，光?*倍数 400 倍，
光学+电子放大 800 倌/span>
物镜三对? 倍?0 倍?0 倌/span>
目镜三对?0 倍?6 倍?0 倌/span>
?掩模相对于样片运动行程：
X:5mm; Y:5mm;:6 ?/span>
?汞灯功率?00W（直流）
?曝光能量密度?mW/cm
2．外形尺寸：650mm（长（/span>600mm(?900mm（高?6
3．配?/span>
?）曝光头
?200W 进口直流高压汞灯(德国欧司?
?XYZ 汞灯调节?/span>
?光学系统
?冷却风扇
?）对准工件台
?掩模样片整体运动?/span>
?掩模样片相对运动?/span>
?转动?/span>
?样片调平机构，手?/span>
?样片调焦机构，手?/span>
?承片 3 个（?50mm ?75mm ?100mm （/span>
?掩模 4 个（2.5 英寸? 英寸? 英寸? 英寸（/span>
?掩模抽拉式上下机枃/span>
?）对准显微镜
?光源（配备品 2 只）、电溏/span>
?双目双视场对准显微镜主体
?目镜 3 对（10 倍?6 倍?0 倍， 6 个）
?物镜 3 对（4 倍?0 倍?0 倍， 6 个）
?CCD（台湾）
?21 寸液晶显示器
?）电控系绞/span>
?汞灯触发电源(200W 直流汞灯)
?单片机控制系绞/span>
?控制机箱
?）气动系绞/span>
?气缸、电磁阀、减压阀、气动开关等
?电磁阀驱动
?气动仪表
?）其他附仵/span>
?真空泵一?/span>
?管道
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